吕玉山教授成果展示-信息元器件制造技术与装备

作者: 时间:2020-02-06 点击数:

“信息元器件制造技术与装备”是以精密超精密制造技术、机械传动技术、机械设计技术、精密测量与控制技术等为技术基础,以光电子元器件、IC和MEMS等信息元器件为制造对象,研究其制造工艺理论与方法,以及相应的制造设备。其重点研究内容和取得的成果如下:

1.光电子元器件制造技术与装备

主要研究光纤透镜和光纤连接器的制造技术与装备、电子陶瓷薄膜的流延技术与装备和高精密丝网印刷技术与装备等。其研制的高精密全自动双工位丝网印刷机已经用于片式电子元器件和光伏电池的制造领域。

高精密全自动双工位丝网印刷机

2.IC制造技术与装备

主要研究IC制造过程中的化学机械抛光技术、封装过程的锡膏喷印技术和高精密划片技术。研制成功小型多功能化学机械抛光机,并发明了仿生结构的抛光垫,能够解决平坦化抛光过程中的抛光液流场、接触温度场和接触压力场不均匀分布问题。

仿生结构抛光垫

3. 微宏制造技术与装备

主要研究介于宏观与微观尺度的机械零件的微磨削、微铣削和微磨料射流加工技术,以及微装配技术,并开展桌面化数控加工机床的设计理论研究。研制成功了桌面化数控光纤透镜微纳米研磨抛光机、桌面化数控微磨料射流加工机、MEMS微装配实验样机和桌面化数控微磨削和铣削机床等。其中桌面化数控微磨削铣削机床的主轴转速为160000rpm,进给重复地位精度0.1微米,能够用于武器装备三维结构微小机械零件的制造。

桌面化数控微磨削铣削机床
 


 

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